Pierwszy Proces Oświęcimski toczył się w Krakowie przed polskim Najwyższym Trybunałem Narodowym w dniach 24 listopada - 22 grudnia 1947. Na ławie oskarżonych zasiadło 40 byłych członków załogi niemieckiego obozu koncentracyjnego Auschwitz-Birkenau. Proces odbył się w specjalnie do tego przygotowanej sali Związku Nauczycielstwa Polskiego (w której mieściło się 500 osób) i był równolegle tłumaczony na cztery języki. Akt oskarżenia obejmował przede wszystkim zarzuty dotyczące udziału oskarżonych w gazowaniu Żydów przywożonych z całej Europy na terenie obozu w Brzezince, dokonywania rozlicznych egzekucji i maltretowania więźniów oraz popełnienia innych okrucieństw na terenie obozu. Łączną liczbę ofiar obozu ocenia się na ok. 1,1 do 1,5 miliona (w ogromnej większości Żydów, ale także więźniów politycznych z Polski i innych krajów okupowanych, Cyganów oraz radzieckich jeńców wojennych).
Na ławie oskarżonych zasiedli między innymi: Arthur Liebehenschel (komendant obozu, następca Rudolfa Hössa), Max Grabner (szef obozowego Gestapo), Hans Aumeier (jeden z kierowników obozu i zastępców komendanta), Maria Mandl (kierowniczka obozu kobiecego w Brzezince), Karl Ernst Möckel (szef obozowej administracji) i Erich Muhsfeldt (kierownik krematoriów w Brzezince). Aumeier i Muhsfeldt zostali już wcześniej skazani za zbrodnie popełnione w obozach na terenie III Rzeszy, lecz Amerykanie postanowili przekazać ich Polsce by odpowiedzieli także za zbrodnie których dopuścili się w Auschwitz. W toku procesu trybunał uznał organizację obozów koncentracyjnych za organizację przestępczą. W wyniku procesu 23 oskarżonych skazano na karę śmierci przez powieszenie (2 oskarżonym zamieniono ją następnie na dożywocie), 16 na karę pozbawienia wolności od dożywocia do 3 lat, a jednego oskarżonego uniewinniono. Wyroki śmierci wykonano 24 stycznia 1948 w więzieniu Montelupich w Krakowie.
W uzasadnieniu wyroku Najwyższy Trybunał Narodowy rozstrzygnął kwestię powołania się oskarżonych na rozkaz przełożonych (co miało znaczenie nie tylko dla tej sprawy) stwierdzając, iż: Znęcanie się nad i tak nadmiernie udręczonymi więźniami dowodzi wielkiego zezwierzęcenia tych oskarżonych, którzy w wyniku przewodu sądowego zostali skazani na karę śmierci. To znęcanie się ze strony tych oskarżonych, którzy wszyscy brali mniejszy lub większy udział w zabijaniu więźniów, wskazuje też na to, że ci oskarżeni brali udział w tych zabójstwach z potrzeby wewnętrznej zabijania, a nie w wykonaniu rozkazu przełożonych. Gdyby bowiem nie odczuwali potrzeby zabijania, to albo okazywaliby więźniom współczucie, albo też byliby dla nich obojętni, lecz nie znęcaliby się nad nimi.
| Oskarżony | Stopień | Funkcja | Wyrok |
|---|---|---|---|
| Arthur Liebehenschel | SS-Obersturmbannführer | komendant obozu | śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano) |
| Hans Aumeier | SS-Sturmbannführer | Schutzhaftlagerführer | śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano) |
| Max Grabner | SS-Untersturmführer | szef obozowego gestapo | śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano) |
| Karl Ernst Möckel | SS-Obersturmbannführer | kierownik administracji obozowej | śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano) |
| Maria Mandl | SS-Oberaufseherin | kierowniczka obozu kobiecego w Birkenau | śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano) |
| Franz Xaver Kraus | SS-Sturmbannführer | oficer informacyjny | śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano) |
| Ludwig Plagge | SS-Oberscharführer | Rapportführer | śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano) |
| Fritz Buntrock | SS-Unterscharführer | Rapportführer | śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano) |
| Wilhelm Gerhard Gehring | SS-Hauptscharführer | komendant podobozu | śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano) |
| Otto Lätsch | SS-Unterscharführer | zastępca komendanta podobozu | śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano) |
| Heinrich Josten | SS-Obersturmführer | dowódca kompanii wartowniczej | śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano) |
| Josef Kollmer | SS-Obersturmführer | dowódca kompanii wartowniczej | śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano) |
| Erich Muhsfeldt | SS-Oberscharführer | kierownik krematoriów w Birkenau | śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano) |
| Hermann Kirschner | SS-Unterscharführer | urzędnik administracji obozowej | śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano) |
| Hans Schumacher | SS-Unterscharführer | kierownik obozowego magazynu żywnościowego | śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano) |
| August Bogusch | SS-Scharführer | urzędnik w kancelarii kierownika obozu | śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano) |
| Therese Brandl | SS-Aufseherin | SS-Erstaufseherin | śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano) |
| Paul Szczurek | SS-Unterscharführer | Blockführer | śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano) |
| Paul Götze | SS-Rottenführer | Blockführer | śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano) |
| Herbert Paul Ludwig | SS-Oberscharführer | Blockführer | śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano) |
| Kurt Hugo Müller | SS-Unterscharführer | Blockführer | śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano) |
| Johann Paul Kremer | SS-Obersturmführer | lekarz obozowy | śmierć przez powieszenie (karę zamieniono na dożywocie) |
| Artur Breitwieser | SS-Unterscharführer | urzędnik administracji obozowej | śmierć przez powieszenie (karę zamieniono na dożywocie) |
| Detleff Nebbe | SS-Sturmscharführer | sierżant kompanii wartowniczej | dożywocie |
| Karl Seufert | SS-Hauptscharführer | nadzorca w bloku więziennym | dożywocie |
| Hans Koch | SS-Unterscharführer | członek obozowej służby dezynfekcyjnej | dożywocie |
| Luise Danz | SS-Aufseherin | nadzorczyni | dożywocie |
| Adolf Medefind | SS-Unterscharführer | strażnik | dożywocie |
| Anton Lechner | SS-Rottenführer | strażnik | dożywocie |
| Franz Romeikat | SS-Unterscharführer | urzędnik administracji obozowej | 15 lat pozbawienia wolności |
| Hans Hoffman | SS-Rottenführer | obozowe gestapo | 15 lat pozbawienia wolności |
| Hildegard Martha Lächert | SS-Aufseherin | nadzorczyni | 15 lat pozbawienia wolności |
| Alice Orlowski | SS-Aufseherin | nadzorczyni | 15 lat pozbawienia wolności |
| Johannes Weber | SS-Sturmmann | pracownik w kuchni obozowej | 15 lat pozbawienia wolności |
| Alexander Bülow | SS-Sturmmann | strażnik | 15 lat pozbawienia wolności |
| Eduard Lorenz | SS-Unterscharführer | strażnik | 15 lat pozbawienia wolności |
| Richard Schröder | SS-Unterscharführer | urzędnik rachunkowy | 10 lat pozbawienia wolności |
| Erich Adam Dinges | SS-Sturmmann | szofer obozowy | 5 lat pozbawienia wolności |
| Karl Jeschke | SS-Oberscharführer | strażnik | 3 lata pozbawienia wolności |
| Hans Münch | SS-Untersturmführer | lekarz w Instytucie Higieny SS | uniewinniony |
Drugi proces oświęcimski toczył się od 20 grudnia 1963 do 10 sierpnia 1965 przed zachodnioniemieckim sądem we Frankfurcie nad Menem.